半導體超純水制備工藝

⑴ 制備純水的工藝有那些，各自都有些哪些特點

吉林水處理設備, 吉林純凈水處理設備, 吉林反滲透水處理設備 1.蒸餾法，按蒸餾器皿可分為玻璃、石英蒸餾器，金屬材質的有銅、不銹鋼和白金蒸餾器等。按蒸餾次數可分為一次、二次和多次蒸餾法。此外，為了去掉一些特出的雜質，還需採取一些特殊的措施。例如預先加入一些高錳酸鉀可除去易氧化物；加入少許磷酸可除去三價鐵；加入少許不揮發酸可製取無氨水等。蒸餾水可以滿足普通分析實驗室的用水要求。由於很難排除二氧化碳的溶入。所以水的電阻率是很低的，達不到MΩ級。不能滿足許多新技術的需要。 2.離子交換法，主要有兩種制備方式： A. 復床式，即按陽床陰床陽床陰床混合床的方式連接並生產去離子水；早期多採用這種方式，便於樹脂再生。 B. 混床式（2-5級串聯不等），混床去離子的效果好。但再生不方便。 離子交換法可以獲得十幾MΩ的去離子水。但有機物無法去掉，TOC和COD值往往比原水還高。這是因為樹脂不好，或是樹脂的預處理不徹底，樹脂中所含的低聚物、單體、添加劑等沒有除盡，或樹脂不穩定，不斷地釋放出分解產物。這一切都將以TOC或COD指標的形式表現出來。例如，當自來水的COD值為2mg/L時，經過去離子處理得到的去離子水的COD值常在5-10mg/L之間。當然，在使用好樹脂時會得到好結果，否則就無法制備超純水了。 3.電滲析法，產生於1950年[4]，由於其能耗低，常作為離子交換法的前處理步驟。它在外加直流電場作用下，利用陰陽離子交換膜分別選擇性的允許陰陽離子透過，使一部分離子透過離子交換膜遷移到另一部分水中去，從而使一部分水純化，另一部分水濃縮。這就是電滲析的原理。電滲析是常用的脫鹽技術之一。產出水的純度能滿足一寫工業用水的需要。例如,用電阻率為1.6KΩ·cm(25°C)的原水可以獲得1.03MΩ·cm(25°C)的產出水。換言之，原水的總硬度為77mg/L時產出水的總硬度則為∽10mg/L. 4.反滲透法，目前它是一種應用最廣的脫鹽技術。反滲透膜雖在1977年 就有了，但其規模化生產和廣泛用於脫鹽卻是近幾年的事情。反滲透膜能去除無機鹽、有機物（分子量500）、細菌、熱源、病毒、懸濁物（粒徑0.1μm）等。產出水的電阻率能較原水的電阻率升高近10倍。 吉林水處理設備, 吉林純凈水處理設備, 吉林反滲透水處理設備 離子交換法製取超純水設備 電滲析法製取超純水 吉林水處理設備, 吉林純凈水處理設備,吉林反滲透水處理設備

⑵ 電子行業用超純水設備工藝，介紹幾種

電子行業超純水設備工藝流程說明：

1、 第一級預處理系統：採用石英砂多介質過濾器，主要目的是去除源水中含有的泥沙、鐵銹、膠體物質、懸浮物等顆粒在20 m以上對人體有害的物質，系統可以自動(手動)進行反沖洗，正沖洗等一系列操作。

2、 第二級預處理系統：採用果殼活性碳過濾器，目的是為了去除水中的色素、異味、生化有機物、降低水的余氯值及農葯污染和其他對人體有害的污染物。系統可以自動(手動)進行反沖洗，正沖洗等一系列操作。

3、 第三級預處理系統：採用陽樹脂對水進行軟化，主要是降低水的硬度，去除水中的鈣、鎂離子(形成水垢的主要成分)，可有效延長反滲透膜的使用壽命，並可進行智能化樹脂再生

4、 第四級預處理系統：採用5um 孔徑精密過濾器，使水得到進一步的凈化，使水的濁度和色度達到優化。保證RO 系統進水條件要求，保證設備的產水質量，延長設備的使用壽命。

5、 反滲透(超濾)設備主機：採用反滲透(超濾)技術進行深度脫鹽處理(進口美國反滲透膜)去除鈣、鎂、鉛、汞等對人體有害的重金屬物質及其他雜質，降低水的硬度，脫鹽率達99%以上，生產出符合國家標準的純凈水。

6、 微過濾裝置：安裝該裝置主要是為防止微粒樹脂顆粒從布水中濾出，造成二次水質污染，這主要是運用在對水質特別高的場合。

7、殺菌系統：採用臭氧發生器(或紫外線殺菌器)，減少細菌二次污染，滅菌率可達99%以上，同時臭氧溶於水形成富氧水，保證水的純鮮。採用水氣混合器使臭氧充分與水混合，達到最佳濃度比。

超純水設備採用反滲透系統+EDI聯用工藝。石英砂過濾器和保安過濾器構成預處理系統，石英砂過濾器去除原水中的懸浮物及細菌、病毒等污染物，通過保安過濾器進一步過濾，保證反滲透系統的進水水質。進入反滲透系統的水經過處理，大分子物質被脫除，從而進入EDI處理單元，電除鹽作用可以去除水中90%以上的離子，使水質達到超純水標准，符合生產的要求。

⑶ 請問制備純水的工藝種類有那些有什麼特點

1.蒸餾法，按蒸餾器皿可分為玻璃、石英蒸餾器，金屬材質的有銅、不銹鋼和白金蒸餾器等。按蒸餾次數可分為一次、二次和多次蒸餾法。此外，為了去掉一些特出的雜質，還需採取一些特殊的措施。例如預先加入一些高錳酸鉀可除去易氧化物；加入少許磷酸可除去三價鐵；加入少許不揮發酸可製取無氨水等。蒸餾水可以滿足普通分析實驗室的用水要求。由於很難排除二氧化碳的溶入。所以水的電阻率是很低的，達不到MΩ級。不能滿足許多新技術的需要。

2.反滲透法，目前它是一種應用最廣的脫鹽技術。反滲透膜雖在1977年 就有了，但其規模化生產和廣泛用於脫鹽卻是近幾年的事情。反滲透膜能去除無機鹽、有機物（分子量>500）、細菌、熱源、病毒、懸濁物（粒徑>0.1μm）等。產出水的電阻率能較原水的電阻率升高近10倍。

3.離子交換法，主要有兩種制備方式：

a. 復床式，即按陽床—陰床—陽床—陰床—混合床的方式連接並生產去離子水；早期多採用這種方式，便於樹脂再生。

b. 混床式（2-5級串聯不等），混床去離子的效果好。但再生不方便。

離子交換法可以獲得十幾MΩ的去離子水。但有機物無法去掉，TOC和COD值往往比原水還高。這是因為樹脂不好，或是樹脂的預處理不徹底，樹脂中所含的低聚物、單體、添加劑等沒有除盡，或樹脂不穩定，不斷地釋放出分解產物。這一切都將以TOC或COD指標的形式表現出來。例如，當自來水的COD值為2mg/L時，經過去離子處理得到的去離子水的COD值常在5-10mg/L之間。當然，在使用好樹脂時會得到好結果，否則就無法制備超純水了。

4.電滲析法，產生於1950年[4]，由於其能耗低，常作為離子交換法的前處理步驟。它在外加直流電場作用下，利用陰陽離子交換膜分別選擇性的允許陰陽離子透過，使一部分離子透過離子交換膜遷移到另一部分水中去，從而使一部分水純化，另一部分水濃縮。這就是電滲析的原理。電滲析是常用的脫鹽技術之一。產出水的純度能滿足一寫工業用水的需要。例如,用電阻率為1.6KΩ·cm(25°C)的原水可以獲得1.03MΩ·cm(25°C)的產出水。換言之，原水的總硬度為77mg/L時產出水的總硬度則為∽10mg/L。（來自科瑞資料）

⑷ 超純水制備原理是什麼

超純水制備系統，制備超純水主要包括以下三個階段:即初步吸附過濾階段、反參透凈化階段和樹脂離子交換階段。超純水制備在設備生產操作過程中需先檢查整個設備有無異象，各連接管之間是否封閉，謹防滴漏，在檢查完設備之後打開原水(自來水)閥，開啟總電源開關，然後逐步開啟原水泵，高壓泵;開啟後停留在機器旁聽查一小段時間看設備運行有無異常，需觀察設備蜂房過濾器、活性炭過濾器、壓縮活性炭過濾器、保安過濾器進、反參透設備出口水的壓力，需保證每個過濾設備進出口水壓差在一定范圍內(<0.1MPa)，同時需要控制RO進水、中段、濃水的壓力在要求范圍內，控制RO產水流量、RO迴流流量、RO濃水流量並使RO產水的電導率小於20uS/cm。需裝用超純水時開啟增壓泵，打開第一個出水閥，其中需控制好混床進出水壓力及精密過濾器壓力及混床出水的壓力在要求范圍內，以保證出水的電阻率大於10MΩ·cm。在此過程中需注意觀察純水槽中的存水情況，嚴禁抽空!同時為防止存水過多導致水質變差，影響混床樹脂壽命，村水箱中的水需控制在浮漂以下。使用完畢後續關閉好總電源，關閉原水進水閥和超純水出水閥，防止自來水和空氣倒流回過濾設備內損壞設備。

超純水，是一般工藝很難達到的程度，採用預處理、反滲透技術、超純化處理以及後級處理四大步驟，多級過濾、高性能離子交換單元、超濾過濾器、紫外燈、除TOC裝置等多種處理方法，電阻率方可達18.2MΩ*cm(25℃)。其中初步吸附過濾階段包括蜂房過濾器、活性炭過濾器、壓縮活性炭過濾器、保安過濾器蜂房過濾器的主要作用是去除大於10um的凝聚膠體和懸浮顆粒活性炭過濾器的主要作用是活性炭利用本身良好的吸附作用將水中的餘下氯氣和小分子有機物截留在濾芯，隨濾芯帶走壓縮活性炭的主要作用是利用比活性炭更強的吸附作用更深度的從原水中除去餘下氯氣和小分子有機物，保證反參透水質要求保安過濾器同

⑸ 超純水系統的工藝流程

超純水系統工藝流程

1、預處理系統→反滲透系統→中間水箱→粗混合回床→答精混合床→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→精密過濾器→用水對象 （≥18MΩ.CM）(傳統工藝)

2、預處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象（≥18MΩ.CM）(新工藝)

3、預處理→一級反滲透→加葯機（PH調節）→中間水箱→第二級反滲透（正電荷反滲膜）→純水箱→純水泵→EDI裝置→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象（≥17MΩ.CM）(新工藝)

4、預處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象（≥15MΩ.CM）(新工藝)

5、預處理系統→反滲透系統→中間水箱→純水泵→粗混合床→精混合床→紫外線殺菌器→精密過濾器→用水對象 （≥15MΩ.CM）(傳統工藝)

⑹ 化工行業水處理超純水的製取和注意什麼

化工行業用超純水系統設備超純水主要應用於電池行溶劑用水化學分析，軟水機功能此外化工超純水設備特點超純水傳統的制備工藝一般都是採用離子交換樹脂進行製取，即耗費物力又浪費人工公司經過多年實踐但採用離子交換樹脂通常需要經常性的進行樹脂再生，常採用反滲透加離子交換系統或EDI相結合用來制備超純水同時結合最新的膜分離技術，該工藝與傳統工藝相比具有運行成本低的優點，離子交換器的再生周期大大延長運行可靠。化工行業用超純水系統設備與最新工藝相比具有造價低反滲透工藝技術先進可靠耗材易得的優點。還包括的是投資量及運行成本方面進行比較裝置與混床離子交換設備屬於水處理系統中的精處理設備。

裝置在水處理中應用的優越性CEDI電除鹽行業用超純水系統是一個連續凈水過程因此其產品水水質穩定，電阻率達到超純水的指標混床離子交換設施的凈水過程是間斷式的，其產品水水質較高在剛剛被再生後而在下次再生之前其產品水水質較差。小型軟水機CEDI電除鹽行業用超純水系統採用的技術在國外廣泛的應用有十幾年的時間，大多用於制葯行業發電工業和實驗室微電子行業等特殊的行業。

電除鹽行業用超純水系統具有全新的特點包括連續運行產品水水質穩定，容易實現全自動控制無須用酸鹼再生不會因再生而停機。才外還具有的是節省了再生用水及再生污水處理設施無須酸鹼儲備和酸鹼稀釋運送設施，使用安全可靠避免工人接觸酸鹼產水率高佔地面積小，降低運行及維護成本設備單元模塊化可靈活的組合各種流量的凈水設施。

最重要的是還具有安裝簡單費用低廉設備初投資大，廢物回收等場合化工材料產品清洗物質的分離和濃縮以及提純的設備。純水電導率從0.1uS/cm-20uS/cm就基本上能滿足要求對於水質要求相對來說不是太高，可根據客戶對水質的具體EDI等超純水生產工藝的不同組合採用反滲透，又能滿足客戶要求的超純水處理設備生產出即經濟實用。化工行業用超純水系統設備化工材料的生產和加工過程所用的溶劑及清洗過程超純材料和超純化學試劑實驗室和中試車間，還包括有石英、硅材料生產、加工、提純電子半導體、集成電路板上用到的化工材等方面。

在表面清洗電解工業和化工工業的應用也日趨廣泛的應用范圍。利於環保等優點隨著設備改進與技術完善以及針對不同行業進行優化，一體軟水機具有廣泛的應用前景初投資費用會大大降低的最新特點。

電鍍塗裝用純水設備全自動電鍍洗水處理及回收設備電泳漆系統中，適用於各種大、中、小型不同規格生產線中漆液封閉循環方法如下。

水壺除垢本設備採用當今國際上先進技術電泳漆液通過泵從電泳槽，打到小於20u的袋式過濾器將廢水中含金屬離子分離出來，水可以直接回到漂洗槽循環再利用或其它20u的預處理過濾器後，金屬離子濃縮後直接加入電鍍槽然而再回到電泳槽。

電鍍塗裝用純水設備該技術徹底改變傳統電鍍漂洗水的處理方法及保證漂洗水穩定的水質直接進入超濾系統進行漆液濃縮，為企業降低排污費提升產品質量創造經濟效益，進口軟水機還能達到環保清潔電鍍的要求。大都包括有四種軟化水質的辦法目前最常用的標准方式是離子交換法採用特定陽離子交換樹脂由於鈉鹽的溶解度很高，以鈉離子將水中的鈣鎂離子置換出來避免了溫度升高造成水垢生成的情況。

它的主要優點是工藝成熟效果穩定準確可以將硬度降至0的全新特點，擁有了這種方式採用這種的軟化水設備叫做離子交換器或者叫做鈉離子交換器。

工業軟化水設備是全新的軟化水設備之一應用了很多軟化水的方法和功能原理的設備。軟化水設備此外採用的是石灰法詳細介紹是向水中加入石灰，只能將硬度降到一定的范圍主要是用於處理大流量的高硬水。工業軟化水設備最後的一種辦法是加葯法也就是向水中加入專用的阻垢劑，從而使水垢不能析出沉積目前工業上可以使用的的阻垢劑很多，可以改變鈣鎂離子與碳酸根離子結合的特性方法的特點是投入較少適應性廣，還包括水量軟大時運行成本偏高水的應用受到很大限制。工業軟化水設備由於加葯法只是從化學原理上阻止水垢的生成不歸入軟化方法中，民用領域中也很少應用並沒有降低水的硬度而是稱為阻垢。

另外處理後的水適用范圍廣效果明顯而穩定的方法是膜分離法，採用的是反滲透膜可以攔截水中的鈣鎂離子從根本上降低水的硬度等功能特點。

電泳超濾機電泳水設備可形成閉路循環水沖洗系統裝置提高電泳漆的壽命，太陽能熱水器安裝圖並大大提高電泳工件的電泳質量有很高的經濟效益回報電泳超濾機電泳水設備而且具有了把透過膜的透過液來作為工位沖洗。電鍍塗裝用純水設備此外還具有了新生產的超濾水為出電泳槽工件提供沖洗用水降低了電泳漆的使用費用對環境污染回收後的電泳漆再利用。
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⑺ 化工行業用超純水的工藝流程,比較常見的有哪些

工藝流程：自來水→PP過濾器→AC過濾器→保安過濾器→增壓泵→RO反滲透膜→專預純化柱→超純化單屬元→紫外→超純水 根據不同實驗要求可加配超濾和終端過濾器
作用:1、PP過濾器：獨特、精密的外松內緊漸進式結構，可有效防止微孔堵塞，凈化水通量高，可濾除源水中細小顆粒、懸浮物、膠體等雜質，防止反滲透膜被污染。過濾器內裝PP濾芯，需定期清洗和更換，保證過濾水質和水量。
2、AC過濾器：此AC過濾器的主要作用是有效去除水中殘余的游離氯和有機機物，除色、除味。由於自來水中含有餘氯，而殘余氯是強氧化劑,會對離子交換樹脂、反滲透膜造成損害,因此必須除去。
該濾料具有無數微孔，比表面積大，這樣與水充分接觸，可以吸附水中的有機物和游離氯，凈化水質,以保證反滲透膜不受氧化劑破壞,避免被有機物污染。
3、保安過濾器：此保安過濾器作用是進一步除去水中有機物、膠體和細菌等雜質，使出水的污染指數降低到5以下，保證反滲透部分的正常運行。

⑻ 電子工業制備超純水的工藝是什麼

採用離子交換樹脂制備電子工業超純水的傳統水處理方式，其基本工藝流程為內：原水→容多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備→混床）（復床）→超純水泵→後置保安過濾器→用水點。採用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合制備電子工業超純水的方式，其基本工藝流程為：原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備→混床（復床）→超純水箱→超純水泵→後置保安過濾器→用水點。採用反滲透設備與電去離子(EDI)設備進行搭配製備電子工業超純水的的方式，這是一種製取超純水的最新工藝，也是一種環保，經濟，發展潛力巨大的超純水制備工藝，其基本工藝流程為：原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備→電去離子(EDI)→超純水箱→超純水泵→後置保安過濾器→用水點。

⑼ 超純水生產需要哪些設備

1、採用離子交換樹脂制備電子工業超純水的傳統水處理方式，其基本工藝內流程為：原水→多介質過濾容器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→陽床→陰床→混床（復床）→超純水箱→超純水泵→後置保安過濾器→用水點2、採用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合制備電子工業超純水的方式，其基本工藝流程為：原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備→混床（復床）→超純水箱→超純水泵→後置保安過濾器→用水點3、採用反滲透設備與電去離子（EDI）設備進行搭配製備電子工業超純水的的方式，這是一種製取超純水的最新工藝，也是一種環保，經濟，發展潛力巨大的超純水制備工藝，其基本工藝流程為：原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備→電去離子（EDI）→超純水箱→超純水泵→後置保安過濾器→用水點
。
從以上工藝就能看出你需要哪些設備啦

⑽ 純水的製取工藝有哪些

純水的製取工藝：

1.反滲透過濾系統

反滲透是實驗室純水機最常用的過濾方法，它的過濾優點版和缺點，我們權已經介紹過很多次了，比如在講時就給大家介紹過。優點是在一定程度上有效地去除所有類型的污染物（顆粒，膠體和溶解的無機物），日常維護比較少。而缺點是由於RO膜的緊密孔隙度限制了其流速，因此純水的製取量相比較其他方法來說比較少，而且製取成本較高。

2.紫外線輻射製取純水

優點是有效消毒處理，將有機化合物（185nm和254nm）氧化為<5ppb TOC。

缺點是會降低水質的電阻率，不會去除顆粒，膠體或離子。

3.蒸餾製取純水

蒸餾製取該方法的基礎是在蒸汽相中隨後冷凝而轉移水。該方法的主要缺點是將水轉化為蒸汽所需的電力維護成本非常高。此外，在蒸汽形成過程中與水分子一起，其他溶質可以根據其揮發性進入蒸汽，最終溶解到製取的純水中。

4.去離子交換

優點是能夠有效去除溶解於水中的有害離子，比如重金屬離子，而且製取的超純水電阻率接近18兆歐。缺點是無法去除不溶於水的礦物質，而且純水製取成本較高。因此多與反滲透配合使用。