等離子去氟化

『壹』 四氟化碳在等離子體刻蝕中對人的危害有哪些

四氟化碳是無色來、無臭、不自燃的可壓縮性氣體，發揮性較高，是最穩定的有機化合物之一，在900℃時，不與銅、鎳、鎢、鉬反應，僅在碳弧溫度下緩慢分解，微溶於水，在25℃及0.1Mpa下其溶解度為0.0015％（重量比），然而與可燃性氣體燃燒時，會分解產生有毒氟化物。
結論，基本無害

『貳』 四氟化碳 與硅和二氧化硅的反應有毒嗎，對人體有醫學嗎，等離子刻蝕機的輻射大嗎

單質氟對人體肯定是有害的，就如冰箱使用不含氟利昂的，至於你的工作環境，保持空氣流通會好點，別一直呆在哪裡，有空出去呼吸新鮮空氣對身體有好處！

『叄』 離型膜為什麼具有分離性，硅油，氟化物，表面等離子處理這些有什麼作用，原理是什麼呢

我了解等離子處理，等離子表面處理是為了提高樣件表面的平整和表面能，便於進一步處理。我覺得這三種應該都是為了達到這樣的效果。就是把素材表面處理平整。

『肆』 請問四氟化碳的事情，等離子方面用的，以及電子元件的清洗！

產 品 說 明
CO® Contact Cleaner 精密電子清洗劑
1、 產品介紹：
不含CFC113或三氯乙烷的環保配方，對塑膠無害的精密電子、電器清潔劑、回主要答用於清潔電子線路板，續電器、開關閘、電路接頭、發電機組，馬達控制器和感應器及精密儀器等
2、 特點：
快乾
不留殘漬
適用所有塑膠
有效去除電子、電器零件上的污漬、水氣、塵埃
持有NSF、H2注冊認證，可用於食品工業

『伍』 三氟化氮(NF 3 )是微電子工業中一種優良的等離子蝕刻氣體，無色、無臭，在潮濕空氣中泄露會產生白霧、紅