半导体超纯水制备工艺

⑴ 制备纯水的工艺有那些，各自都有些哪些特点

吉林水处理设备, 吉林纯净水处理设备, 吉林反渗透水处理设备 1.蒸馏法，按蒸馏器皿可分为玻璃、石英蒸馏器，金属材质的有铜、不锈钢和白金蒸馏器等。按蒸馏次数可分为一次、二次和多次蒸馏法。此外，为了去掉一些特出的杂质，还需采取一些特殊的措施。例如预先加入一些高锰酸钾可除去易氧化物；加入少许磷酸可除去三价铁；加入少许不挥发酸可制取无氨水等。蒸馏水可以满足普通分析实验室的用水要求。由于很难排除二氧化碳的溶入。所以水的电阻率是很低的，达不到MΩ级。不能满足许多新技术的需要。 2.离子交换法，主要有两种制备方式： A. 复床式，即按阳床阴床阳床阴床混合床的方式连接并生产去离子水；早期多采用这种方式，便于树脂再生。 B. 混床式（2-5级串联不等），混床去离子的效果好。但再生不方便。 离子交换法可以获得十几MΩ的去离子水。但有机物无法去掉，TOC和COD值往往比原水还高。这是因为树脂不好，或是树脂的预处理不彻底，树脂中所含的低聚物、单体、添加剂等没有除尽，或树脂不稳定，不断地释放出分解产物。这一切都将以TOC或COD指标的形式表现出来。例如，当自来水的COD值为2mg/L时，经过去离子处理得到的去离子水的COD值常在5-10mg/L之间。当然，在使用好树脂时会得到好结果，否则就无法制备超纯水了。 3.电渗析法，产生于1950年[4]，由于其能耗低，常作为离子交换法的前处理步骤。它在外加直流电场作用下，利用阴阳离子交换膜分别选择性的允许阴阳离子透过，使一部分离子透过离子交换膜迁移到另一部分水中去，从而使一部分水纯化，另一部分水浓缩。这就是电渗析的原理。电渗析是常用的脱盐技术之一。产出水的纯度能满足一写工业用水的需要。例如,用电阻率为1.6KΩ·cm(25°C)的原水可以获得1.03MΩ·cm(25°C)的产出水。换言之，原水的总硬度为77mg/L时产出水的总硬度则为∽10mg/L. 4.反渗透法，目前它是一种应用最广的脱盐技术。反渗透膜虽在1977年 就有了，但其规模化生产和广泛用于脱盐却是近几年的事情。反渗透膜能去除无机盐、有机物（分子量500）、细菌、热源、病毒、悬浊物（粒径0.1μm）等。产出水的电阻率能较原水的电阻率升高近10倍。 吉林水处理设备, 吉林纯净水处理设备, 吉林反渗透水处理设备 离子交换法制取超纯水设备 电渗析法制取超纯水 吉林水处理设备, 吉林纯净水处理设备,吉林反渗透水处理设备

⑵ 电子行业用超纯水设备工艺，介绍几种

电子行业超纯水设备工艺流程说明：

1、 第一级预处理系统：采用石英砂多介质过滤器，主要目的是去除源水中含有的泥沙、铁锈、胶体物质、悬浮物等颗粒在20 m以上对人体有害的物质，系统可以自动(手动)进行反冲洗，正冲洗等一系列操作。

2、 第二级预处理系统：采用果壳活性碳过滤器，目的是为了去除水中的色素、异味、生化有机物、降低水的余氯值及农药污染和其他对人体有害的污染物。系统可以自动(手动)进行反冲洗，正冲洗等一系列操作。

3、 第三级预处理系统：采用阳树脂对水进行软化，主要是降低水的硬度，去除水中的钙、镁离子(形成水垢的主要成分)，可有效延长反渗透膜的使用寿命，并可进行智能化树脂再生

4、 第四级预处理系统：采用5um 孔径精密过滤器，使水得到进一步的净化，使水的浊度和色度达到优化。保证RO 系统进水条件要求，保证设备的产水质量，延长设备的使用寿命。

5、 反渗透(超滤)设备主机：采用反渗透(超滤)技术进行深度脱盐处理(进口美国反渗透膜)去除钙、镁、铅、汞等对人体有害的重金属物质及其他杂质，降低水的硬度，脱盐率达99%以上，生产出符合国家标准的纯净水。

6、 微过滤装置：安装该装置主要是为防止微粒树脂颗粒从布水中滤出，造成二次水质污染，这主要是运用在对水质特别高的场合。

7、杀菌系统：采用臭氧发生器(或紫外线杀菌器)，减少细菌二次污染，灭菌率可达99%以上，同时臭氧溶于水形成富氧水，保证水的纯鲜。采用水气混合器使臭氧充分与水混合，达到最佳浓度比。

超纯水设备采用反渗透系统+EDI联用工艺。石英砂过滤器和保安过滤器构成预处理系统，石英砂过滤器去除原水中的悬浮物及细菌、病毒等污染物，通过保安过滤器进一步过滤，保证反渗透系统的进水水质。进入反渗透系统的水经过处理，大分子物质被脱除，从而进入EDI处理单元，电除盐作用可以去除水中90%以上的离子，使水质达到超纯水标准，符合生产的要求。

⑶ 请问制备纯水的工艺种类有那些有什么特点

1.蒸馏法，按蒸馏器皿可分为玻璃、石英蒸馏器，金属材质的有铜、不锈钢和白金蒸馏器等。按蒸馏次数可分为一次、二次和多次蒸馏法。此外，为了去掉一些特出的杂质，还需采取一些特殊的措施。例如预先加入一些高锰酸钾可除去易氧化物；加入少许磷酸可除去三价铁；加入少许不挥发酸可制取无氨水等。蒸馏水可以满足普通分析实验室的用水要求。由于很难排除二氧化碳的溶入。所以水的电阻率是很低的，达不到MΩ级。不能满足许多新技术的需要。

2.反渗透法，目前它是一种应用最广的脱盐技术。反渗透膜虽在1977年 就有了，但其规模化生产和广泛用于脱盐却是近几年的事情。反渗透膜能去除无机盐、有机物（分子量>500）、细菌、热源、病毒、悬浊物（粒径>0.1μm）等。产出水的电阻率能较原水的电阻率升高近10倍。

3.离子交换法，主要有两种制备方式：

a. 复床式，即按阳床—阴床—阳床—阴床—混合床的方式连接并生产去离子水；早期多采用这种方式，便于树脂再生。

b. 混床式（2-5级串联不等），混床去离子的效果好。但再生不方便。

离子交换法可以获得十几MΩ的去离子水。但有机物无法去掉，TOC和COD值往往比原水还高。这是因为树脂不好，或是树脂的预处理不彻底，树脂中所含的低聚物、单体、添加剂等没有除尽，或树脂不稳定，不断地释放出分解产物。这一切都将以TOC或COD指标的形式表现出来。例如，当自来水的COD值为2mg/L时，经过去离子处理得到的去离子水的COD值常在5-10mg/L之间。当然，在使用好树脂时会得到好结果，否则就无法制备超纯水了。

4.电渗析法，产生于1950年[4]，由于其能耗低，常作为离子交换法的前处理步骤。它在外加直流电场作用下，利用阴阳离子交换膜分别选择性的允许阴阳离子透过，使一部分离子透过离子交换膜迁移到另一部分水中去，从而使一部分水纯化，另一部分水浓缩。这就是电渗析的原理。电渗析是常用的脱盐技术之一。产出水的纯度能满足一写工业用水的需要。例如,用电阻率为1.6KΩ·cm(25°C)的原水可以获得1.03MΩ·cm(25°C)的产出水。换言之，原水的总硬度为77mg/L时产出水的总硬度则为∽10mg/L。（来自科瑞资料）

⑷ 超纯水制备原理是什么

超纯水制备系统，制备超纯水主要包括以下三个阶段:即初步吸附过滤阶段、反参透净化阶段和树脂离子交换阶段。超纯水制备在设备生产操作过程中需先检查整个设备有无异象，各连接管之间是否封闭，谨防滴漏，在检查完设备之后打开原水(自来水)阀，开启总电源开关，然后逐步开启原水泵，高压泵;开启后停留在机器旁听查一小段时间看设备运行有无异常，需观察设备蜂房过滤器、活性炭过滤器、压缩活性炭过滤器、保安过滤器进、反参透设备出口水的压力，需保证每个过滤设备进出口水压差在一定范围内(<0.1MPa)，同时需要控制RO进水、中段、浓水的压力在要求范围内，控制RO产水流量、RO回流流量、RO浓水流量并使RO产水的电导率小于20uS/cm。需装用超纯水时开启增压泵，打开第一个出水阀，其中需控制好混床进出水压力及精密过滤器压力及混床出水的压力在要求范围内，以保证出水的电阻率大于10MΩ·cm。在此过程中需注意观察纯水槽中的存水情况，严禁抽空!同时为防止存水过多导致水质变差，影响混床树脂寿命，村水箱中的水需控制在浮漂以下。使用完毕后续关闭好总电源，关闭原水进水阀和超纯水出水阀，防止自来水和空气倒流回过滤设备内损坏设备。

超纯水，是一般工艺很难达到的程度，采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理四大步骤，多级过滤、高性能离子交换单元、超滤过滤器、紫外灯、除TOC装置等多种处理方法，电阻率方可达18.2MΩ*cm(25℃)。其中初步吸附过滤阶段包括蜂房过滤器、活性炭过滤器、压缩活性炭过滤器、保安过滤器蜂房过滤器的主要作用是去除大于10um的凝聚胶体和悬浮颗粒活性炭过滤器的主要作用是活性炭利用本身良好的吸附作用将水中的余下氯气和小分子有机物截留在滤芯，随滤芯带走压缩活性炭的主要作用是利用比活性炭更强的吸附作用更深度的从原水中除去余下氯气和小分子有机物，保证反参透水质要求保安过滤器同

⑸ 超纯水系统的工艺流程

超纯水系统工艺流程

1、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→粗混合回床→答精混合床→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→精密过滤器→用水对象 （≥18MΩ.CM）(传统工艺)

2、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象（≥18MΩ.CM）(新工艺)

3、预处理→一级反渗透→加药机（PH调节）→中间水箱→第二级反渗透（正电荷反渗膜）→纯水箱→纯水泵→EDI装置→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象（≥17MΩ.CM）(新工艺)

4、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象（≥15MΩ.CM）(新工艺)

5、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→纯水泵→粗混合床→精混合床→紫外线杀菌器→精密过滤器→用水对象 （≥15MΩ.CM）(传统工艺)

⑹ 化工行业水处理超纯水的制取和注意什么

化工行业用超纯水系统设备超纯水主要应用于电池行溶剂用水化学分析，软水机功能此外化工超纯水设备特点超纯水传统的制备工艺一般都是采用离子交换树脂进行制取，即耗费物力又浪费人工公司经过多年实践但采用离子交换树脂通常需要经常性的进行树脂再生，常采用反渗透加离子交换系统或EDI相结合用来制备超纯水同时结合最新的膜分离技术，该工艺与传统工艺相比具有运行成本低的优点，离子交换器的再生周期大大延长运行可靠。化工行业用超纯水系统设备与最新工艺相比具有造价低反渗透工艺技术先进可靠耗材易得的优点。还包括的是投资量及运行成本方面进行比较装置与混床离子交换设备属于水处理系统中的精处理设备。

装置在水处理中应用的优越性CEDI电除盐行业用超纯水系统是一个连续净水过程因此其产品水水质稳定，电阻率达到超纯水的指标混床离子交换设施的净水过程是间断式的，其产品水水质较高在刚刚被再生后而在下次再生之前其产品水水质较差。小型软水机CEDI电除盐行业用超纯水系统采用的技术在国外广泛的应用有十几年的时间，大多用于制药行业发电工业和实验室微电子行业等特殊的行业。

电除盐行业用超纯水系统具有全新的特点包括连续运行产品水水质稳定，容易实现全自动控制无须用酸碱再生不会因再生而停机。才外还具有的是节省了再生用水及再生污水处理设施无须酸碱储备和酸碱稀释运送设施，使用安全可靠避免工人接触酸碱产水率高占地面积小，降低运行及维护成本设备单元模块化可灵活的组合各种流量的净水设施。

最重要的是还具有安装简单费用低廉设备初投资大，废物回收等场合化工材料产品清洗物质的分离和浓缩以及提纯的设备。纯水电导率从0.1uS/cm-20uS/cm就基本上能满足要求对于水质要求相对来说不是太高，可根据客户对水质的具体EDI等超纯水生产工艺的不同组合采用反渗透，又能满足客户要求的超纯水处理设备生产出即经济实用。化工行业用超纯水系统设备化工材料的生产和加工过程所用的溶剂及清洗过程超纯材料和超纯化学试剂实验室和中试车间，还包括有石英、硅材料生产、加工、提纯电子半导体、集成电路板上用到的化工材等方面。

在表面清洗电解工业和化工工业的应用也日趋广泛的应用范围。利于环保等优点随着设备改进与技术完善以及针对不同行业进行优化，一体软水机具有广泛的应用前景初投资费用会大大降低的最新特点。

电镀涂装用纯水设备全自动电镀洗水处理及回收设备电泳漆系统中，适用于各种大、中、小型不同规格生产线中漆液封闭循环方法如下。

水壶除垢本设备采用当今国际上先进技术电泳漆液通过泵从电泳槽，打到小于20u的袋式过滤器将废水中含金属离子分离出来，水可以直接回到漂洗槽循环再利用或其它20u的预处理过滤器后，金属离子浓缩后直接加入电镀槽然而再回到电泳槽。

电镀涂装用纯水设备该技术彻底改变传统电镀漂洗水的处理方法及保证漂洗水稳定的水质直接进入超滤系统进行漆液浓缩，为企业降低排污费提升产品质量创造经济效益，进口软水机还能达到环保清洁电镀的要求。大都包括有四种软化水质的办法目前最常用的标准方式是离子交换法采用特定阳离子交换树脂由于钠盐的溶解度很高，以钠离子将水中的钙镁离子置换出来避免了温度升高造成水垢生成的情况。

它的主要优点是工艺成熟效果稳定准确可以将硬度降至0的全新特点，拥有了这种方式采用这种的软化水设备叫做离子交换器或者叫做钠离子交换器。

工业软化水设备是全新的软化水设备之一应用了很多软化水的方法和功能原理的设备。软化水设备此外采用的是石灰法详细介绍是向水中加入石灰，只能将硬度降到一定的范围主要是用于处理大流量的高硬水。工业软化水设备最后的一种办法是加药法也就是向水中加入专用的阻垢剂，从而使水垢不能析出沉积目前工业上可以使用的的阻垢剂很多，可以改变钙镁离子与碳酸根离子结合的特性方法的特点是投入较少适应性广，还包括水量软大时运行成本偏高水的应用受到很大限制。工业软化水设备由于加药法只是从化学原理上阻止水垢的生成不归入软化方法中，民用领域中也很少应用并没有降低水的硬度而是称为阻垢。

另外处理后的水适用范围广效果明显而稳定的方法是膜分离法，采用的是反渗透膜可以拦截水中的钙镁离子从根本上降低水的硬度等功能特点。

电泳超滤机电泳水设备可形成闭路循环水冲洗系统装置提高电泳漆的寿命，太阳能热水器安装图并大大提高电泳工件的电泳质量有很高的经济效益回报电泳超滤机电泳水设备而且具有了把透过膜的透过液来作为工位冲洗。电镀涂装用纯水设备此外还具有了新生产的超滤水为出电泳槽工件提供冲洗用水降低了电泳漆的使用费用对环境污染回收后的电泳漆再利用。
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⑺ 化工行业用超纯水的工艺流程,比较常见的有哪些

工艺流程：自来水→PP过滤器→AC过滤器→保安过滤器→增压泵→RO反渗透膜→专预纯化柱→超纯化单属元→紫外→超纯水 根据不同实验要求可加配超滤和终端过滤器
作用:1、PP过滤器：独特、精密的外松内紧渐进式结构，可有效防止微孔堵塞，净化水通量高，可滤除源水中细小颗粒、悬浮物、胶体等杂质，防止反渗透膜被污染。过滤器内装PP滤芯，需定期清洗和更换，保证过滤水质和水量。
2、AC过滤器：此AC过滤器的主要作用是有效去除水中残余的游离氯和有机机物，除色、除味。由于自来水中含有余氯，而残余氯是强氧化剂,会对离子交换树脂、反渗透膜造成损害,因此必须除去。
该滤料具有无数微孔，比表面积大，这样与水充分接触，可以吸附水中的有机物和游离氯，净化水质,以保证反渗透膜不受氧化剂破坏,避免被有机物污染。
3、保安过滤器：此保安过滤器作用是进一步除去水中有机物、胶体和细菌等杂质，使出水的污染指数降低到5以下，保证反渗透部分的正常运行。

⑻ 电子工业制备超纯水的工艺是什么

采用离子交换树脂制备电子工业超纯水的传统水处理方式，其基本工艺流程为内：原水→容多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透设备→混床）（复床）→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点。采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合制备电子工业超纯水的方式，其基本工艺流程为：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透设备→混床（复床）→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点。采用反渗透设备与电去离子(EDI)设备进行搭配制备电子工业超纯水的的方式，这是一种制取超纯水的最新工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透设备→电去离子(EDI)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点。

⑼ 超纯水生产需要哪些设备

1、采用离子交换树脂制备电子工业超纯水的传统水处理方式，其基本工艺内流程为：原水→多介质过滤容器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→阳床→阴床→混床（复床）→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合制备电子工业超纯水的方式，其基本工艺流程为：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透设备→混床（复床）→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点3、采用反渗透设备与电去离子（EDI）设备进行搭配制备电子工业超纯水的的方式，这是一种制取超纯水的最新工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透设备→电去离子（EDI）→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点
。
从以上工艺就能看出你需要哪些设备啦

⑽ 纯水的制取工艺有哪些

纯水的制取工艺：

1.反渗透过滤系统

反渗透是实验室纯水机最常用的过滤方法，它的过滤优点版和缺点，我们权已经介绍过很多次了，比如在讲时就给大家介绍过。优点是在一定程度上有效地去除所有类型的污染物（颗粒，胶体和溶解的无机物），日常维护比较少。而缺点是由于RO膜的紧密孔隙度限制了其流速，因此纯水的制取量相比较其他方法来说比较少，而且制取成本较高。

2.紫外线辐射制取纯水

优点是有效消毒处理，将有机化合物（185nm和254nm）氧化为<5ppb TOC。

缺点是会降低水质的电阻率，不会去除颗粒，胶体或离子。

3.蒸馏制取纯水

蒸馏制取该方法的基础是在蒸汽相中随后冷凝而转移水。该方法的主要缺点是将水转化为蒸汽所需的电力维护成本非常高。此外，在蒸汽形成过程中与水分子一起，其他溶质可以根据其挥发性进入蒸汽，最终溶解到制取的纯水中。

4.去离子交换

优点是能够有效去除溶解于水中的有害离子，比如重金属离子，而且制取的超纯水电阻率接近18兆欧。缺点是无法去除不溶于水的矿物质，而且纯水制取成本较高。因此多与反渗透配合使用。