等离子去氟化

『壹』 四氟化碳在等离子体刻蚀中对人的危害有哪些

四氟化碳是无色来、无臭、不自燃的可压缩性气体，发挥性较高，是最稳定的有机化合物之一，在900℃时，不与铜、镍、钨、钼反应，仅在碳弧温度下缓慢分解，微溶于水，在25℃及0.1Mpa下其溶解度为0.0015％（重量比），然而与可燃性气体燃烧时，会分解产生有毒氟化物。
结论，基本无害

『贰』 四氟化碳 与硅和二氧化硅的反应有毒吗，对人体有医学吗，等离子刻蚀机的辐射大吗

单质氟对人体肯定是有害的，就如冰箱使用不含氟利昂的，至于你的工作环境，保持空气流通会好点，别一直呆在哪里，有空出去呼吸新鲜空气对身体有好处！

『叁』 离型膜为什么具有分离性，硅油，氟化物，表面等离子处理这些有什么作用，原理是什么呢

我了解等离子处理，等离子表面处理是为了提高样件表面的平整和表面能，便于进一步处理。我觉得这三种应该都是为了达到这样的效果。就是把素材表面处理平整。

『肆』 请问四氟化碳的事情，等离子方面用的，以及电子元件的清洗！

产 品 说 明
CO® Contact Cleaner 精密电子清洗剂
1、 产品介绍：
不含CFC113或三氯乙烷的环保配方，对塑胶无害的精密电子、电器清洁剂、回主要答用于清洁电子线路板，续电器、开关闸、电路接头、发电机组，马达控制器和感应器及精密仪器等
2、 特点：
快干
不留残渍
适用所有塑胶
有效去除电子、电器零件上的污渍、水气、尘埃
持有NSF、H2注册认证，可用于食品工业

『伍』 三氟化氮(NF 3 )是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体，无色、无臭，在潮湿空气中泄露会产生白雾、红